特許

J-GLOBAL ID：200903037035332665

パターン露光用原版作成方法

発明者： 伊藤 慎次 ,  枝 高頼
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-220328
公開番号（公開出願番号）：特開平5-061184
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】液晶表示パネル等表示パネルのパターン作成用のパターン露光用原版を殖版手段によって作成する際に、1単位パターンの多面付けにより発生するムラを出来る限り目立たなくすることを目的とする。【構成】殖版手段に1単位パターンbを備えるレチクルRを装着して複数単位パターンを、行方向と列方向とにそれぞれ等間隔に多面付けするパターン露光用原版作成方法において、同形状の単一パターンPを行方向と列方向とに直線的に揃えて等間隔に複数配列した1単位パターンbを備え且つ該1単位パターンを構成する単一パターンPのうち適宜行の行方向の対向端部又は/及び適宜列の列方向の対向端部にある単一パターンPが互いに入れ違い状態に配列されているレチクルRを用いてパターン露光するパターン露光用原版作成方法。

請求項（抜粋）：

殖版手段に1単位パターンを備えるレチクルを装着して複数単位パターンを、行方向と列方向とにそれぞれ等間隔に多面付けするパターン露光用原版作成方法において、同形状の単一パターンを行方向と列方向とに直線的に揃えて等間隔に複数配列した1単位パターンを備え且つ該1単位パターンを構成する単一パターンのうち適宜行の行方向の対向端部又は/及び適宜列の列方向の対向端部にある単一パターンが互いに入れ違い状態に配列されているレチクルを用いてパターン露光することを特徴とするパターン露光用原版作成方法。

IPC (2件)：

G03F 1/08 ,  G02F 1/1343

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-143513
  
• 特開平2-143514
  
• 特開平2-144535