複合センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：春日讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-110731
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297043
出願日： 1996年05月01日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】貯水池や水田等の貯水系において、水位と水質又は流量と水質を、一つのセンサで検出可能な複合センサを実現する。【解決手段】圧力センサ1の差圧を測定するためのダイアフラムの一方側に、被測定流体の圧力を導入する圧力導入口21を有する第1ガラス基板2を配置する。第1ガラス基板2とスペーサ4を介して対向する第2ガラス基板3を配置する。この第2ガラス基板3には圧力導入口21に対向する位置に被測定流体の圧力を導入する圧力導入口31が形成される。第1及び第2ガラス基板の互いに対向する面には、それぞれ導電膜23、33が形成され、これら導電膜23と33との間の被測定流体の水質を示す導電率及び誘電率が測定可能となっている。これにより、差圧(流量)と水質とを一つのセンサで測定可能な複合センサを実現することができる。

請求項（抜粋）：

被測定体が発生する圧力に応じて変位するダイアフラムを有する圧力センサと、上記圧力センサに接合され、上記ダイアフラムに被測定体が発生する圧力を導入する第1の圧力導入口を有するとともに、その表面に第1の導電膜とを有する第1の基板と、上記被測定体が発生する圧力を、上記第1の圧力導入口を介して上記ダイアフラムに導入する第2の圧力導入口を有するとともに、上記第1の導電膜に対向する位置に第2の導電膜を有し、第1の基板と所定の間隔だけ離間して配置される第2の基板と、上記第1の導電膜と、第2の導電膜との間に導入された被測定体の導電率及び誘電率を測定するとともに、上記圧力センサからの出力信号から被測定流体の圧力を測定する信号処理部とを備えることを特徴とする複合センサ。

IPC (5件)：

G01D 21/02 , G01D 21/00 , G01F 23/14 , G01L 13/06 , G01N 27/06

FI (5件)：

G01D 21/02 , G01D 21/00 G , G01F 23/14 , G01L 13/06 C , G01N 27/06 A

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