特許
J-GLOBAL ID：200903037038268666
チタン系複合酸化物形成用塗布液
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿形 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-238290
公開番号（公開出願番号）：特開平7-090594
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：
【要約】【構成】 (イ)テトラアルコキシチタンとオキシ酸との反応生成物及び(ロ)チタン以外の金属の可溶性塩を含む有機溶剤性溶液から成るチタン系複合酸化物形成用塗布液である。【効果】 従来の塗布液に比較し、優れた保存安定性を有する上に、1回の塗布により所望の膜厚の複合酸化物膜を基板上に形成しうる。
請求項（抜粋）：
(イ)テトラアルコキシチタン又はその錯体化合物と、オキシ酸との反応生成物、及び(ロ)チタン系複合酸化物の成分となるチタン以外の金属の可溶性塩を含む有機溶剤性溶液から成るチタン系複合酸化物形成用塗布液。
IPC (4件)：
C23C 18/12
, C01G 23/00
, C01G 25/00
, H01L 41/24
