電極検査装置及び電極検査方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-282273
公開番号（公開出願番号）：特開2003-090855
出願日： 2001年09月17日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】基板上に配置された複数の電極からなる電極群の機能を検査を非接触で、かつ、短時間で行うことができる電極検査装置を提供すること。【解決手段】所定方向と交差する方向に延設された検査用電極104と、検査用電極104を線状電極202,203に対し所定の間隔を維持した状態で、走査させる駆動ステージ22と、検査用電極104と線状電極202,203との間に生ずる電気的特性の変化に基づいて線状電極202,203の機能を判定する測定器31とを備えていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

所定方向に沿って配置された複数の線状電極からなる電極群の機能を検査する電極検査装置において、上記所定方向と交差する方向に延設された検査用電極と、この検査用電極を上記電極群に対し所定の間隔を維持した状態で、上記所定方向に沿って走査させる検査用電極走査部と、上記検査用電極と上記線状電極との間に生ずる電気的特性の変化に基づいて上記電極群の機能を判定する測定部とを備えていることを特徴とする電極検査装置。

IPC (3件)：

G01R 31/02 , G01R 1/06 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/02 , G01R 1/06 F , H01L 21/66 B

Fターム (14件)：

2G011AD01 , 2G011AE03 , 2G014AA02 , 2G014AA03 , 2G014AB55 , 2G014AB59 , 2G014AC10 , 2G014AC12 , 4M106AA01 , 4M106AA11 , 4M106BA01 , 4M106BA14 , 4M106CA11 , 4M106CA16

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