特許

J-GLOBAL ID：200903037044951734

感光性樹脂組成物

発明者： 大熊 典夫 ,  宮川 昌士
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271561
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107757
出願日： 1991年10月19日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 ポリ-P-ヒドロキシスチレン系レジストを用い、耐熱性を有し、厚膜にてもクラックが発生せず高い解像性を実現できるポジ型感光性材料を提供すること。【構成】 P-ヒドロキシスチレンと(メタ)アクリル系モノマーの共重合体及びナフトキノンジアジド化合物を含有させてポジ型感光性樹脂組成物を調製する。

請求項（抜粋）：

P-ヒドロキシスチレンと(メタ)アクリル系モノマーの共重合体及びナフトキノンジアジド化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/022 ,  C08K 5/28 LEK ,  C08L 25/18 LEK ,  C08L 33/10 LHX ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027