特許

J-GLOBAL ID：200903037046635619

圧力センサ

発明者： 船崎 純
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-287771
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126665
出願日： 1991年11月01日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】本発明は、電気信号を介することなく、全光学的に圧力変化の信号検出可能にすることを主要な目的とする。【構成】光学媒質の応力変化に伴う屈折率変化を光学的に検出することにより圧力変化を検出し、センサ部(12a)が光導波路構造をなす圧力センサにおいて、前記光導波路は、屈折率の異なる2種類以上の光学媒質を複数積層させた複屈折性を付与した多層薄膜構光導波層(5) であることを特徴とする圧力センサ。

請求項（抜粋）：

光学媒質の応力変化に伴う屈折率変化を光学的に検出することにより圧力変化を検出し、センサ部が光導波路構造をなす圧力センサにおいて、前記光導波路は、屈折率の異なる2種類以上の光学媒質を複数積層させた複屈折性を付与した多層薄膜構造光導波路であることを特徴とする圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-128132
  
• 特開昭62-182627
  
• 特開平2-134613