特許
J-GLOBAL ID：200903037053324467
電子ビーム露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231965
公開番号（公開出願番号）：特開平11-073904
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】電子ビーム内の個々の電子の散乱によるぼけの補正技術を提供する。【解決手段】電子ビームのぼけ量を測定する測定手段、電子ビームのショットを所定サイズにしたときの電子ビームのぼけ量が最小となるように電子ビームのフォーカス位置を制御する第1制御手段、第1制御手段における最小のぼけ量に対応するフォーカス位置の制御量を保持する保持手段、電子ビームのショットを所定サイズ以下の任意サイズにしたときの電子ビームのぼけ量が保持手段の保持値と等しくなるように電子ビームのフォーカス位置を制御する第2制御手段を備える。電子ビームのショットを所定サイズ以下の任意サイズにしたときの電子ビームのぼけ量が、電子ビームのショットを所定サイズにしたときの電子ビームのぼけ量等しくなるように電子ビームのフォーカス位置が制御されるため、ショットサイズの相違にかかわらずぼけ量が一定になる。
請求項（抜粋）：
電子ビームのぼけ量を測定する測定手段と、前記電子ビームの可変矩形ショットまたはブロックショットを所定サイズにしたときの該電子ビームのぼけ量が最小となるように該電子ビームのフォーカス位置を制御する第1制御手段と、前記第1制御手段における最小のぼけ量に対応するフォーカス位置の制御量を保持する保持手段と、前記電子ビームの可変矩形ショットまたはブロックショットを前記所定サイズ以下の任意サイズにしたときの該電子ビームのぼけ量が前記保持手段の保持値と等しくなるように該電子ビームのフォーカス位置を制御する第2制御手段と、を備えたことを特徴とする電子ビーム露光装置。
IPC (3件)：
H01J 37/21
, H01J 37/305
, H01L 21/027
H01J 37/21 Z
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 Q
, H01L 21/30 541 F
