特許
J-GLOBAL ID：200903037055906692
ウェーハカセット授受装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174822
公開番号（公開出願番号）：特開平7-010212
出願日： 1993年06月22日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：
【要約】【目的】半導体製造装置に於いて、ウェーハ搬送時の待ち時間を解消し、又搬送動作の休止時間を減少させウェーハ搬送時間の短縮を図り、スループットの向上を図る。【構成】カセットストッカ2に対してウェーハカセット6の授受動作を行うカセット授受装置20に於いて、前記カセット授受装置が昇降可能な横行ビーム22を有し、該横行ビームにウェーハカセットを受載しウェーハカセットを進退可能な少なくとも1組のカセット受台5を設け、該少なくとも1組のカセット受台を横行可能とし、カセットストッカの全ての棚に対して、ウェーハカセットの授受を自在に行って、ウェーハカセットの入替えを自由とし、更にカセットストッカに対して他の機器が動作中にも干渉を避けて、併行してウェーハカセットの授受を行う。
請求項（抜粋）：
カセットストッカに対してウェーハカセットの授受動作を行うカセット授受装置に於いて、前記カセット授受装置が昇降可能な横行ビームを有し、該横行ビームにウェーハカセットを受載しウェーハカセットを進退可能な少なくとも1組のカセット受台を設け、該少なくとも1組のカセット受台を横行可能としたことを特徴とするウェーハカセット授受装置。
IPC (3件)：
B65G 1/00 543
, B65G 49/07
, H01L 21/68
