特許
J-GLOBAL ID：200903037055956290
表面保護フィルム剥離方法および表面保護フィルム剥離装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 廣瀬 繁樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-056151
公開番号（公開出願番号）：特開2007-230740
出願日： 2006年03月02日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】ウェーハにクラックなどが生じること無しに表面保護フィルムを剥離する。【解決手段】ウェーハ(20)の表面に貼付けられた表面保護フィルム(11)を剥離する表面保護フィルム剥離方法において、表面保護フィルムを上方に向けてウェーハを可動テーブル(31)上に支持し、表面保護フィルムの一端(28)において表面保護フィルムに切込み(15)をウェーハの表面に沿って形成し、表面保護フィルムの一端において切込みが形成された部分の表面に剥離テープを貼付け、可動テーブルをウェーハの他端(29)から一端に向かう方向に移動させて、表面保護フィルムをウェーハの表面から剥離する。また、切込みが形成された部分を把持した状態で可動テーブルを移動させる場合には、剥離テープを用いることなしに、表面保護フィルムを剥離できる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ウェーハの表面に貼付けられた表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離方法において、
前記表面保護フィルムを上方に向けて前記ウェーハを可動テーブル上に支持し、
前記表面保護フィルムの一端において前記表面保護フィルムの厚さ部分に切込みを前記ウェーハの表面に沿って形成し、
前記表面保護フィルムの前記一端において前記切込みが形成された部分に剥離テープを貼付け、
前記可動テーブルを前記ウェーハの他端から前記一端に向かう方向に移動させて、前記表面保護フィルムを前記ウェーハの表面から剥離する表面保護フィルム剥離方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
3F053FA06
, 3F053FA07
, 3F053FA10
, 3F053LA16
, 3F053LB12
, 5F031CA02
, 5F031HA56
, 5F031HA78
, 5F031KA06
, 5F031KA13
, 5F031MA38
, 5F031PA20
