特許

J-GLOBAL ID：200903037056552380

感光性樹脂組成物の現像方法

発明者： 酒井 幸 ,  片岡 康浩
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
代理人 (1件)： 清水 猛 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-274991
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095448
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 現像時に残渣や表層剥がれを生じることなく、現像液の溶解性を低下させることなく高解像度のパターンを得るための感光性樹脂組成物の現像方法を提供する。【解決手段】 (A)下記一般式(1)で表される繰返し単位を含むポリアミドフェノール:100重量部、および(B)ナフトキノンジアジド:1〜50重量部を含有してなる感光性樹脂組成物を非イオン性界面活性剤を含むアルカリ性水溶液で現像してパターンを得ることを特徴とする感光性樹脂組成物の現像方法。

請求項（抜粋）：

【請求項1 】 (A)下記一般式(1)で表される繰返し単位を含むポリアミドフェノール:100重量部【化1】および(B)ナフトキノンジアジド:1〜50重量部を含有してなる感光性樹脂組成物を、非イオン性界面活性剤を含有するアルカリ性水溶液で現像してパターンを得ることを特徴とする感光性樹脂組成物の現像方法。

IPC (4件)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 569 F