特許

J-GLOBAL ID：200903037057493166

波長シフト量の検出方法

発明者： ▲葛▼ 宗濤
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-030489
公開番号（公開出願番号）：特開2002-195886
出願日： 2001年02月07日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【目的】 波長シフトされた波長ごとに得られた、被観察体の位相情報を担持した縞画像データに縞画像解析演算を施して正確な波長シフト量を求め、補間等の手法を用いた演算を行うことにより、高精度の波長シフト制御を行うことなく高精度の被観察体の位相情報を得る。【構成】 波長可変レーザ光源により波長シフトせしめる毎に、空間キャリア縞が重畳された、被観察体の形状情報を担持してなる干渉縞画像をCCD撮像カメラにより得る(S1)。次に、得られた各干渉縞画像データに対してフーリエ変換を施して、空間キャリア周波数(fx,fy)を抽出し(S2)、さらに、このキャリア周波数(fx,fy)に基づき被観察体の表面に対する傾き(θx,θy)を求め(S3)、上記で求めたキャリア周波数(fx,fy)および傾き(θx,θy)に基づいて波長シフト量Δλを求める(S4)。

請求項（抜粋）：

測定光波長をシフトし、各シフトされた波長ごとに縞画像を得、該縞画像上に所定の縞が発生するように調整し、波長シフトされた波長ごとに得られた、被観察体の位相情報を担持した縞画像データに所定の縞画像解析演算を施し、前記波長シフトの変化量を検出することを特徴とする波長シフト量の検出方法。