特許
J-GLOBAL ID：200903037065036262
光変調デバイス及び表示装置並びに光変調デバイスの駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248074
公開番号（公開出願番号）：特開2001-075027
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 変調効率及び信頼性を向上した光変調デバイス及び表示装置並びに光変調デバイスの駆動方法を提供する。【解決手段】 一対の支持部13を介して回動可能に基板11上に支持されると共に光を反射するミラー12と、圧電体層33と該圧電体層33を挟持する第1及び第2の電極32,34からなる圧電素子30と前記基板11とにより前記ミラー12に対向する領域に画成されて気体を保持する圧力室20と、前記圧電素子30の前記ミラー12に対向する領域に設けられて前記圧力室20内の気体を吐出する少なくとも一つの吐出孔21とを有し、圧電素子30の駆動により圧力室20内の気体を吐出孔21から吐出する。
請求項（抜粋）：
一対の支持部を介して回動可能に基板上に支持されると共に光を反射するミラーと、圧電体層と該圧電体層を挟持する第1及び第2の電極からなる圧電素子と前記基板とにより前記ミラーに対向する領域に画成されて気体を保持する圧力室と、前記圧電素子の前記ミラーに対向する領域に設けられて前記圧力室内の気体を吐出する少なくとも一つの吐出孔とを有することを特徴とする光変調デバイス。
Fターム (4件)：
2H041AA13
, 2H041AB14
, 2H041AC02
, 2H041AZ08
