特許
J-GLOBAL ID:200903037066442752

ガラスセラミックス多層基板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 目次 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-199499
公開番号(公開出願番号):特開平7-058454
出願日: 1993年08月11日
公開日(公表日): 1995年03月03日
要約:
【要約】【目的】 1000°C以下の温度で焼成することができ、かつシリコンチップの熱膨張係数に近い低い熱膨張係数を有し、かつ高速演算処理に十分に対応できる7以下の低誘電率を有すると共に、高い抗折強度を有するガラスセラミックス基板を得る。【構成】 重量百分率で、ガラス成分40〜80%、フィラー成分20〜60%からなり、該ガラス成分がSiO2 20〜50%、Al2 O3 10〜40%、SrO11〜25%、MgO6〜20%、B2 O3 0.1〜30%、ZnO0.1〜30%の組成を有することを特徴としている。
請求項(抜粋):
重量百分率で、ガラス成分40〜80%、フィラー成分20〜60%からなり、該ガラス成分がSiO2 20〜50%、Al2 O3 10〜40%、SrO 11〜25%、MgO 6〜20%、B2 O3 0.1〜30%、ZnO0.1〜30%の組成を有することを特徴とするガラスセラミックス多層基板。
IPC (3件):
H05K 3/46 ,  C04B 35/18 ,  H05K 1/03

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