特許
J-GLOBAL ID：200903037075281320
走査型プローブ顕微鏡装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-336611
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198730
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 プローブ顕微鏡をより正確にセットすることができ、かつ、装置全体を簡素化することができる走査型プローブ顕微鏡装置を提供すること。【構成】 最初にレーザ顕微鏡Bにより試料3を走査してその顕微鏡像から観察対象領域を捕捉する。次にレーザビームLBを光路切換手段により変位させてカンチレバー1の先端の顕微鏡像を得る。カンチレバー1の先端にレーザビームが照射されている状態で、ステージ8により観察対象個所を探針2に対向させ、XYZスキャナ9でプローブ顕微鏡Aによる走査、計測を行なう。この間、カンチレバー1から反射したレーザビームは光検出手段で検出される。レーザ顕微鏡Bにより観察対象個所が精度良く捕捉され、レーザビームと光検出器16をレーザ顕微鏡Bとプローブ顕微鏡Aで共用するので構成が簡素化される。
請求項（抜粋）：
カンチレバーおよびその先端に取り付けられた探針より成るプローブ顕微鏡と、試料を載置する面を有しその面内で変位可能なステージとを備えた走査型プローブ顕微鏡装置において、レーザ顕微鏡を、前記カンチレバーの先端を視野内に入れる位置に設置するとともに、前記レーザ顕微鏡のレーザビームを前記試料と前記カンチレバーとに切り換えて照射する光路切換手段と、前記試料又は前記カンチレバーで反射したレーザビームを検出するレーザビーム検出手段とを設けたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置。
IPC (2件)：
G01N 37/00
, G01B 11/30 102
