ワイヤボンド装置及びワイヤボンディング方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-187217
公開番号（公開出願番号）：特開平8-051126
出願日： 1994年08月09日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】高速でループ形成制御機能を向上し安定したワイヤボンディングをすることができるワイヤボンド装置を得ることを目的とする。【構成】ボンディングツールの垂直移動及びXYテーブルの水平移動における駆動制御を行うための速度パターン発生回路17Aに、D/Aコンバータ26より出力される基本速度パターンを拡大あるいは縮小させるための乗算回路を設けると共に、その基本速度パターンの出力時間を拡大あるいは縮小させるためのレートジェネレータ30を設けたものである。【効果】各駆動部の加速及び減速指令のスムーズな速度パターン化とボンディングツールの軌跡制御を可能として、振動の発生を抑制し高速で高精度なループ形成制御が可能となるワイヤボンド装置を得る効果がある。

請求項（抜粋）：

ボンディングツールを保持するボンディングアームを垂直駆動し、前記ボンディングアームが搭載されたテーブルを水平駆動するモータ、並びに前記モータを制御するための加速特性及び減速特性の各指令信号を発生する速度パターン発生回路を備えたワイヤボンド装置において、前記速度パターン発生回路は、前記各指令信号の出力時間を変化することを特徴とするワイヤボンド装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 301 , H01L 21/60

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-095640
特開昭59-075638

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