特許

J-GLOBAL ID：200903037083748164

研磨用水性分散体の製造方法と製造システム

発明者： 奥村 勝弥 ,  吉田 淑則
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 丸山 明夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-074628
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269171
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 輸送・保管時の品質管理のコストを不要とし、所望の特性を備えたスラリーを、適時に必要な量だけ研磨・製造メーカーに供給する。【解決手段】 含水固体状の気相法無機酸化物と水を混練して無機粒子の水性分散体を製造する分散装置21,29,22,23と、分散装置の後段に連結して設けられて分散装置から送られて来る無機粒子の水性分散体を濾過する濾過装置25と、濾過装置の後段に連結して設けられて濾過装置から送られて来る無機粒子の水性分散体を研磨装置に供給する供給装置32と、を有することを特徴とする研磨用水性分散体の製造システム。

請求項（抜粋）：

気相法無機酸化物を水に分散させて無機粒子の水性分散体を得る分散工程、分散工程で得られた無機粒子の水性分散体を濾過する濾過工程、濾過工程後の無機粒子の水性分散体を研磨装置に供給する供給工程、を連続的に実行することを特徴とする研磨用水性分散体の製造方法。

IPC (7件)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B01D 25/12 ,  B01F 3/12 ,  B24B 57/02 ,  C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14

FI (7件)：

H01L 21/304 622 E ,  H01L 21/304 622 D ,  B01D 25/12 J ,  B01F 3/12 ,  B24B 57/02 ,  C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z

Fターム (8件)：

3C047GG14 ,  3C047GG17 ,  3C047GG18 ,  4D018AA12 ,  4D018BB08 ,  4G035AB43 ,  4G035AE13 ,  4G035AE19