特許
J-GLOBAL ID：200903037083963723
基板検査システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-210263
公開番号（公開出願番号）：特開平5-035848
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】基板検査の検査速度を上げて、広範囲にわたる検査内容の検査を効率よく短時間で行なうことを可能とする。【構成】基板検査装置1a,1b,1c,1dを直列に配置し、被検査基板9が搬送コンベヤ2a〜2dによって順次各基板検査装置に導かれるような基板検査システム4を構築する。各基板検査装置1a〜1dは、それぞれ基板9に関して割り当てられた領域5,6,7,8のみを検査する。その検査結果A,B,C,Dは伝送ライン3を介して次の基板検査装置へと伝送され、最終の基板検査装置1dによって、全検査結果A,B,C,Dが合成されたデータが出力される。
請求項（抜粋）：
検査内容が分担して割り当てられる複数台の基板検査装置と、各基板検査装置による検査結果を合成して出力する出力装置とを備え、各基板検査装置を直列に配置して各基板検査装置間に被検査基板を各基板検査装置へ順次導くための基板搬送機構が設けられると共に、各基板検査装置と前記出力装置との間には各基板検査装置による検査結果を伝送する伝送路が設けられており、各基板検査装置は、前記基板搬送機構により搬送された検査対象を取り込む手段と、割り当てられた検査内容に応じて取り込んだ被検査基板を観測する手段と、観測データを処理して割り当てられた検査内容についての検査結果を生成する手段と、生成された検査結果を前記伝送路へ出力する手段とを備えて成る基板検査システム。
IPC (5件)：
G06F 15/62 405
, G01B 11/24
, G01N 21/88
, H05K 13/08
, H05K 3/34
