特許

J-GLOBAL ID：200903037085630519

研磨洗浄方法及びその装置

発明者： 山本 健 ,  松本 博之
出願人/特許権者： アクア化学株式会社
代理人 (2件)： 野中 誠一 ,  村上 雅秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-147833
公開番号（公開出願番号）：特開2006-320859
出願日： 2005年05月20日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：

【課題】 バレル研磨とその後の洗浄処理とをまとめて一気に行うことのできる研磨洗浄方法及び装置を提供する。【解決手段】 処理対象物を収容したバレルBA1〜BA3を、洗浄液に浸漬した状態で回転させて、処理対象物とメディアとを流動させる処理槽1〜3と、洗浄液に接触しない状態でバレルBA1〜BA3を保持して回転させる空転機構RT(H)と、処理槽1〜3に接続された液タンクTK1〜TK3と、液タンクTK1〜TK3と各処理槽1〜3との間で洗浄液を循環させる循環機構とを備えている。各バレルBA1〜BA3には、研磨屑が通過自在な貫通孔HOが設けられているので研磨屑が有効に排出される。排出された研磨屑は、循環機構において捕捉される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

洗浄液を保有すると共に研磨屑の通過自在なバレルを回転可能に保持する洗浄槽と、洗浄液を保有すると共に前記洗浄槽に接続されている液タンクと、前記洗浄槽と前記液タンクとの間で洗浄液を循環させる循環機構とを備えて、 前記循環機構によって循環される洗浄液に、前記バレルを浸漬して回転させて、前記バレル内の処理対象物とメディアを流動させるようにした研磨処理を設けたことを特徴とする研磨洗浄方法。

IPC (2件)：

B08B 3/06 ,  B08B 7/04

FI (2件)：

B08B3/06 ,  B08B7/04

Fターム (23件)：

3B116AA46 ,  3B116AB33 ,  3B116AB43 ,  3B116BA06 ,  3B116BB01 ,  3B116BB11 ,  3B116BB83 ,  3B116BB87 ,  3B116CC03 ,  3B116CD22 ,  3B116CD31 ,  3B201AA46 ,  3B201AB33 ,  3B201AB43 ,  3B201BA06 ,  3B201BB01 ,  3B201BB11 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  3B201CC13 ,  3B201CC15 ,  3B201CD22 ,  3B201CD31

引用特許：

出願人引用 (1件)

• バレル研磨機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-227069   出願人：ホシザキ電機株式会社

審査官引用 (4件)

• 洗浄及びバレル加工方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-192700   出願人：株式会社坂巻製作所
• 特開平2-298285
  
• 洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-181862   出願人：三菱重工業株式会社
• 特開平2-298285