特許

J-GLOBAL ID：200903037087542790

静圧気体軸受装置

発明者： 伊藤 高順
出願人/特許権者： エヌティエヌ株式会社
代理人 (1件)： 野田 雅士 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-213353
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041242
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】 嵌合面における圧力溜まりの発生が防止され、軸受スリーブの変形が抑制できて、優れた軸受性能を維持できる静圧気体軸受装置を提供する。【解決手段】 ハウジング1の内径面に嵌合した軸受スリーブ2を備え、軸受スリーブ2の微細な絞り孔21a,22aを有する軸受面JB,TBに、ハウジング1側から気体を供給する。これら軸受面の静圧気体で主軸3を支承する。この構成の静圧気体軸受装置において、ハウジング1と軸受スリーブ2との嵌合面Bに環状溝23を形成し、この環状溝23から大気に通じる排気通路24を形成する。

請求項（抜粋）：

ハウジングの内径面に嵌合した軸受スリーブを備え、この軸受スリーブとハウジングとの嵌合面を貫通する給気通路を設け、軸受スリーブに設けられた複数の微細な絞り孔を有する軸受面に、ハウジング側から気体を供給することにより、静圧気体を介して主軸を支承する静圧気体軸受装置において、上記ハウジングと軸受スリーブとの嵌合面から大気に通じる排気通路を形成したことを特徴とする静圧気体軸受装置。

Fターム (13件)：

3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA06 ,  3J102BA17 ,  3J102CA34 ,  3J102CA36 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA07 ,  3J102EA13 ,  3J102EA23 ,  3J102GA01 ,  3J102GA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 静圧気体軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-030854   出願人：日本精工株式会社
• 特開昭57-129920
  
• 静圧流体軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-328070   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平2-212624