クラスターサイズ測定器具およびクラスターイオンビーム診断方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：廣江武典 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-568563
公開番号（公開出願番号）：特表2003-527614
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2003年09月16日
要約：

【要約】ディテクター装置およびクラスターイオンビーム診断でのその使用が記載される。該ディテクターはガス圧力ディテクター(224)へのコンダクタンス経路およびディテクター出口(248)へのコンダクタンスを持つファラデーカップ(210)を有する。該ディテクターはイオンビームフラックスの尺度であるイオン電流を獲得し、圧力測定を通じて、質量フラックスも獲得する。圧力測定は解離されたガスクラスターの出力に応答し、瞬時のイオン電流についての情報と組み合わされて、平均ガスクラスターイオンサイズNを見積もる。

請求項（抜粋）：

ガスクラスターイオンビームがディテクターに進入する第1の開口を有するエンクロージャー; ガスクラスターイオンビーム中のガスクラスターイオンを分子に解離させるための、該第1の開口に隣接する該エンクロージャー内に位置した解離手段; ガスクラスターイオンビーム電流を測定するための、該エンクロージャー内に位置した電荷測定手段;および該エンクロージャー内の圧力を測定するための、該エンクロージャーと共に位置した圧力測定手段;を含むことを特徴とする、ガスクラスターイオンビームの特性を測定するためのガスクラスターイオンビームディテクター。

IPC (6件)：

G01N 27/62 , G01N 27/64 , G01T 1/29 , G21K 1/00 , G21K 5/04 , H01J 49/06

FI (6件)：

G01N 27/62 Z , G01N 27/64 C , G01T 1/29 Z , G21K 1/00 A , G21K 5/04 A , H01J 49/06

Fターム (7件)：

2G088EE30 , 2G088FF11 , 2G088FF13 , 2G088GG27 , 2G088JJ01 , 2G088JJ09 , 5C038FF04

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