特許
J-GLOBAL ID：200903037090673900
セラミック板の反りの矯正方法及び平面パネルディスプレイ用スペーサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 阿部 豊隆
, 三上 敬史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-421516
公開番号（公開出願番号）：特開2005-179112
出願日： 2003年12月18日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：
【課題】 セラミック板の反りを容易に矯正することを可能とするセラミック板の反りの矯正方法及び、上記矯正方法を用いた平面パネルディスプレイ用スペーサの製造方法を提供する。【解決手段】 反りを生じたセラミック板50の反りの矯正方法であって、セラミック板50において反りによって凸状とされている面50Aに対してイオンビーム又は中性粒子ビームの少なくとも一方のビームを照射して、凸状とされている面50Aをエッチングするエッチング工程を備える。【選択図】 図16
請求項（抜粋）：
反りを生じたセラミック板の反りの矯正方法であって、
前記セラミック板において前記反りによって凸状とされている面に対してイオンビーム又は中性粒子ビームの少なくとも一方の粒子ビームを照射して、前記凸状とされている面をエッチングするエッチング工程を備えるセラミック板の反りの矯正方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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米国特許第5541473号明細書
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特開平3-271180
審査官引用 (1件)
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