特許

J-GLOBAL ID：200903037091762575

静電偏向電極の製造方法

発明者： 安武 信幸 ,  濱口 新一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-178599
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029201
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 静電偏向電極を具備してなる電子ビーム露光装置に関し、小型化された静電偏向電極を容易に形成できる製造方法を提供することにある。【構成】 金属からなるブロック54にブロック54を貫通する円形の電子ビーム通過領域52と、電子ビーム通過領域52の側面から外側に向かって延びる複数の内側絶縁溝55と、ブロック54の側面から電子ビーム通過領域52に向かって延びる複数の外側絶縁溝56を形成し、外側絶縁溝56にそれぞれ絶縁体53を嵌挿し絶縁体53を外側絶縁溝56の内壁に接着した後、複数の中間絶縁溝57を形成することによって対応する内側絶縁溝55と外側絶縁溝56を連通せしめ、電子ビーム通過領域52を取り囲むように一体化されてなる複数の電極51を形成するように構成する。

請求項（抜粋）：

電子ビーム通過領域(52)を取り囲むように複数の電極(51)を配置してなる電子ビーム露光装置用静電偏向電極の製造において、金属からなるブロック(54)に該ブロック(54)を貫通する円形の電子ビーム通過領域(52)と、該電子ビーム通過領域(52)の側面から外側に向かって延びる複数の内側絶縁溝(55)と、該ブロック(54)の側面から該電子ビーム通過領域(52)に向かって延びる複数の外側絶縁溝(56)を形成し、該外側絶縁溝(56)にそれぞれ絶縁体(53)を嵌挿し該絶縁体(53)を該外側絶縁溝(56)の内壁に接着した後、複数の中間絶縁溝(57)を形成することによって対応する内側絶縁溝(55)と外側絶縁溝(56)を連通せしめ、該電子ビーム通過領域(52)を取り囲む複数の電極(51)を形成することを特徴とした静電偏向電極の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521