特許
J-GLOBAL ID：200903037092025817
液晶表示素子の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-216303
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082789
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】液晶表示素子の電極上の無機酸化物の絶縁膜のアルカリ溶出抑制性能を向上させる。【構成】アルコキシシランとアルコキシチタンまたはその加水分解物にリン酸を添加した塗布液を用い、ITO電極をパターニングした基板上に塗布して、その塗布液に250nm付近主波長を有するを紫外線を800〜5000mJ程度照射し、その後に350°C以下で加熱して塗布液を硬化させてSiO2 -TiO2の絶縁膜を形成する。
請求項（抜粋）：
有機シランまたはその加水分解物を含有する塗布液を電極付きの基板上に塗布して加熱して、SiO2を含有する絶縁膜を電極上に形成することにより電極と配向膜との間に無機質の絶縁膜を形成する液晶表示素子の製造方法において、その塗布液が有機チタンまたはその加水分解物とリン化合物とを含有し、基板上に塗布されたその塗布液に紫外線を照射し、その後に加熱して塗布液を硬化させてSiO2-TiO2 の絶縁膜を形成することを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
引用特許：
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