特許
J-GLOBAL ID：200903037095338387
基板の乾燥方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-144488
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321587
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 水の表面張力によるメニスカスと溶剤ガス+不活性ガスによるマランゴニ効果を利用して、LCD基板や半導体ウェーハなどの基板の表面に水滴痕を生じさせることなく完全に乾燥させることができる基板の乾燥方法を提供する。【解決手段】 基板に付着した水滴の大半を除去するための支切り板20と、基板1との間で毛細管現象が発生する程度の僅かのすきまを形成するための水切りブロック4とを基板表面に向けてそれぞれ対向配置し、洗浄とすすぎの終わった基板1をローラ2によって搬送しながら支切り板20と水切りブロック4部分を通過させることにより、基板表面に残存した水滴Wを基板表面に一様に拡散せしめて水切りブロックの出口側端面9と基板表面との間にメニスカス10を形成し、該メニスカス部分を水に溶けて表面張力を小さくするように作用する溶剤ガスを混合した不活性ガスに接触させながらマランゴニ効果によって水分を蒸発乾燥させる。
請求項（抜粋）：
LCD基板や半導体ウェーハなどの平板状の基板の乾燥方法であって、基板表面との間に毛細管現象が発生する程度の僅かのすきまが形成されるように水切りブロックを基板の搬送経路上に位置して基板表面に向けて対向配置し、洗浄とすすぎの終わった基板を搬送機構によって搬送しながら前記水切りブロック部分を通過させることにより、基板表面に付着した水滴を基板表面に一様に拡散せしめて水切りブロックの出口側端面と基板表面との間にメニスカスを形成し、該メニスカス部分を水に溶けて表面張力を小さくするように作用する溶剤ガスを混合した不活性ガスに接触させながらマランゴニ効果により水分を蒸発乾燥させることを特徴とする基板の乾燥方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 361
, F26B 21/14
, B08B 3/00
H01L 21/304 361 Z
, F26B 21/14
, B08B 3/00
