特許

J-GLOBAL ID：200903037095685117

ダイヤモンド薄膜磁気検出素子及び磁気検出装置

発明者： 橘 武史 ,  西村 耕造 ,  小橋 宏司
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-084476
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302878
出願日： 1993年04月12日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 半導体ダイヤモンド薄膜を使用して耐熱性が優れていると共に、温度上昇に起因して感度が低下することがなく、また大面積・空間の磁場分布の測定を可能とするダイヤモンド薄膜磁気検出素子及び磁気検出装置を提供する。【構成】 ダイヤモンド薄膜磁気検出素子は、ダイヤモンド薄膜2からなる磁気検知部と、この磁気検知部にホール起電力を生起させる少なくとも1対の主電流用電極3と、前記ホール起電力を検出する検出電極4とを有する。そして、主電流用電極3の相互間距離は1乃至100μmである。これにより、主電流用電極により、ダイヤモンド薄膜2からなる磁気検知部に104V/cm以上の電界を印加する。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド薄膜からなる磁気検知部と、この磁気検知部にホール起電力を生起させる少なくとも1対の主電流用電極と、前記ホール起電力を検出する検出電極とを有し、前記主電流用電極の相互間距離は1乃至100μmであることを特徴とするダイヤモンド薄膜磁気検出素子。

IPC (3件)：

H01L 43/10 ,  G01R 33/06 ,  H01L 43/06