特許

J-GLOBAL ID：200903037098491194

高さ検査装置

発明者： 布施 貴史 ,  塚原 博之 ,  西山 陽二 ,  高橋 文之
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-002504
公開番号（公開出願番号）：特開平7-208932
出願日： 1994年01月14日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】 高さ検査装置に関し, レーザ光照射部位の違いによる反射光強度の差異を低減し,光位置センサの位置精度を向上する。【構成】 基材部に形成された突起(バンプ等)領域の高さデータを取得して出力する高さデータ供給手段と,該高さデータ供給手段の出力へ接続され,基材部に形成された突起領域を検査し検査結果を表示する検査出力回路とを備えた高さ検査装置において,突起領域を照射するレーザ光源18と,基材部 1からの反射光と突起 2頂点からの反射光を通す偏光板11と,基材部からの反射光を通す偏光部と突起頂点からの反射光を通す無偏光部を有する片側偏光板14と,該偏光板及び該片側偏光板を通過した反射光を受光する光位置センサ 5とを有し, 該基材部と該突起頂点からの反射光強度の差を低減し,反射光点の移動量から突起の頂点付近の高さを計測する。

請求項（抜粋）：

基材部に形成された突起領域の高さデータを取得して出力する高さデータ供給手段と,該高さデータ供給手段の出力へ接続され,基材部に形成された突起領域を検査し検査結果を表示する検査出力回路とを備えた高さ検査装置において,突起領域を照射するレーザ光源(18)と,基材部(1) からの反射光と突起(2) 頂点からの反射光を通す偏光板(11)と,基材部からの反射光を通す偏光部と突起頂点からの反射光を通す無偏光部を有する片側偏光板(14)と,該偏光板及び該片側偏光板を通過した反射光を受光する光位置センサ(5) とを有し, 該基材部と該突起頂点からの反射光強度の差を低減し,反射光点の移動量から突起の頂点付近の高さを計測することを特徴とする高さ検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/02 ,  H01L 21/66