特許
J-GLOBAL ID：200903037103840615
電気機械変換素子を使用した駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
貞重 和生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-075444
公開番号（公開出願番号）：特開平9-247968
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 低分解能の位置検出機構を使用して、高速で高精度の位置制御が可能な電気機械変換素子を使用した駆動装置を提供する。【解決手段】 CPUで構成される制御部31に、MRセンサ34により駆動軸13の位置を検出する位置検出回路33、圧電素子14を駆動する電流1充放電回路35、圧電素子16を駆動するそれぞれ電流値の異なる電流1充放電回路36、電流2充放電回路37及び電流3充放電回路38が接続される。検出位置により高速駆動と低速駆動を併用する。高速駆動では電流1充放電回路36により圧電素子16に速度の異なる伸縮変位を連続的に発生させて軸13を高速駆動する。低速駆動の場合は充放電回路36〜38による圧電素子16の駆動と、充放電回路35で圧電素子14を駆動して行う軸13の保持動作を組み合わせ、圧電素子16の伸縮変位の1サイクルを単位として軸13を低速駆動する。
請求項（抜粋）：
基台と、基台に対して移動可能に配置された移動部材と、前記移動部材を第1の摩擦力で摩擦結合して保持する保持部材と、前記基台と保持部材との間に配置されて前記基台及び保持部材に接合され、前記基台と保持部材との間隔を伸縮させる方向に変位する第1の電気機械変換素子と、基台に対して移動部材を実質的に固定する第1の状態と、基台に対して移動部材を実質的に解放する第2の状態とを取るように変位する第2の電気機械変換素子と、制御手段とを備え、前記制御手段は、前記第2の電気機械変換素子を前記第2の状態に維持し、前記第1の電気機械変換素子に異なる速度の伸縮変位を発生させて基台に対して保持部材を異なる速度で往復変位させ、保持部材に摩擦結合する移動部材を所定方向に駆動する第1の制御モ-ドと、前記第1の電気機械変換素子に異なる速度の伸縮変位を発生させて基台に対して保持部材を異なる速度で往復変位させ、保持部材に摩擦結合する移動部材を所定方向に駆動する動作と、前記第2の電気機械変換素子を前記第1の状態及び第2の状態に維持する動作とを組み合わせ、保持部材に摩擦結合する移動部材を所定方向に駆動する第2の制御モ-ドとを備えていることを特徴とする電気機械変換素子を使用した駆動装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02N 2/00 C
, H01L 41/08 K
