特許

J-GLOBAL ID：200903037106851588

固体撮像装置

発明者： 郡 戸 久美男 ,  笹 野 信 祐
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-149513
公開番号（公開出願番号）：特開平8-018023
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 スミアの改善及び歩留まりの向上、並びに高周波数転送パルスの安定化が可能な固体撮像装置を提供する。【構成】 フレームインタライン転送型CCDを用いた固体撮像装置において、開口部を有することなく垂直CCDレジスタ部の転送電極6及び7を完全に覆い、光の混入を防止したのでスミアを著しく減少させることができる。また、転送電極6及び7と互いに接続された、制御用配線を兼ねる遮光電極10を備えているので、転送電極の配線抵抗が小さくなり転送パルスが安定する。この固体撮像装置では、構造上、絶縁膜から電気的にリークしやすい部分がなくなるので、歩留まりが向上する。加えて、遮光電極10の上方に補助遮光膜12を形成すると、光の透過率をさらに小さくすることができる。またさらに、補助遮光膜14を遮光電極10に接続すれば、補助遮光膜14はシャント配線として機能し、光の透過率及び配線抵抗をさらに小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

フレームインタライン転送型CCDを用いた固体撮像装置において、開口部を有することなく垂直CCDレジスタ部の転送電極を完全に覆い、前記転送電極と互いに接続された、制御用配線を兼ねる遮光電極を備えることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335