特許
J-GLOBAL ID：200903037108145885
異物検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-280702
公開番号（公開出願番号）：特開平8-145899
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：
【要約】【目的】 広いダイナミックレンジで電流電圧変換を行う増幅部を有する異物検出装置を提供すること【構成】 異物が存在するかもしれない検査対象物を照明するための照明光学系と、検査対象物からの散乱反射光を受光するための受光部と、該受光部からの出力信号を異なる増幅倍率で増幅する複数の増幅器を並列に配置してなる増幅部と、上記複数の増幅器の出力のうち適切なレンジの出力によって異物を検出する異物検出部とを有することを特徴とする異物検出装置。
請求項（抜粋）：
異物が存在するかもしれない検査対象物を照明するための照明光学系と、検査対象物からの散乱反射光を受光するための受光部と、該受光部からの出力信号を異なる増幅倍率で増幅する複数の増幅器を並列に配置してなる増幅部と、上記複数の増幅器の出力のうち適切なレンジの出力によって異物を検出する異物検出部とを有することを特徴とする異物検出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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