特許

J-GLOBAL ID：200903037109125969

座標測定機における回転ヘッドの固有パラメータ作成方法及び装置

発明者： 町井 暢且
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049164
公開番号（公開出願番号）：特開平8-219759
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 回転ヘッドの固有パラメータを専用の工具を用いずに求めることができ、座標測定機への取り付け後でも固有パラメータを求めることができる座標測定機における回転ヘッドの固有パラメータ作成方法及び装置を提供する。【構成】 直交する2つの回転軸と両回転軸によって2方向に回転可能な検出子を有する回転ヘッドと有し、回転ヘッドの固有パラメータを用いて検出子の測定座標値を算出する座標測定機における回転ヘッドの固有パラメータ作成方法で、座標測定機の被検物載置面上に基準球を固定し、検出子を9箇所以上の角度位置に移動させると共に、検出子で基準球の表面の4箇所以上の測定点を9箇所以上の角度位置でそれぞれ検出して基準球の中心位置を算出し、かつ9箇所の角度位置及び各角度位置での基準球の中心位置に基づいて回転ヘッドの固有パラメータを算出する。

請求項（抜粋）：

互いに直交する2つの回転軸と両回転軸の回転によって2方向に回転可能な検出子とを有する回転ヘッドと、座標測定機における前記回転ヘッドの基準点の座標値を検出する座標値検出部と、前記両回転軸で回転した前記検出子の角度位置を検出する位置検出部と、前記座標値、前記検出子の角度位置及び前記回転ヘッドの固有パラメータから前記検出子の測定座標値を算出する測定座標値検出部とを備えた座標測定機における回転ヘッドの固有パラメータ作成方法であって、前記座標測定機の被検物載置面上の所定箇所に基準球を固定し、前記検出子を9箇所以上の角度位置に移動させると共に、前記検出子で前記基準球の表面の4箇所以上の測定点を前記9箇所以上の角度位置でそれぞれ検出して前記基準球の中心位置を算出し、かつ前記9箇所の角度位置及び各角度位置での前記基準球の中心位置に基づいて前記回転ヘッドの固有パラメータを算出することを特徴とする座標測定機における回転ヘッドの固有パラメータ作成方法。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 21/22

FI (2件)：

G01B 21/20 101 Z ,  G01B 21/22