特許

J-GLOBAL ID：200903037120087211

誘電体材料および誘電体膜

発明者： 長谷川 利昭
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020826
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213690
出願日： 1996年02月07日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】 耐熱性が向上しかつ熱膨張率が低く抑えられた低誘電率の誘電体材料および誘電体膜を得る。【解決手段】 誘電体材料は、環状構造を有するフロロカーボンポリマーに、ベンゼン環構造を有する樹脂あるいはシラノール基を有するポリマーを混合してなる。またこのような誘電体材料で誘電体膜を形成する。

請求項（抜粋）：

環状構造を有するフロロカーボンポリマーに、ベンゼン環構造を有する樹脂が混合されてなることを特徴とする誘電体材料。

IPC (4件)：

H01L 21/312 ,  C08L 79/08 LRC ,  C08L101/00 LTB ,  H01L 21/768

FI (4件)：

H01L 21/312 A ,  C08L 79/08 LRC ,  C08L101/00 LTB ,  H01L 21/90 S

引用特許：

審査官引用 (1件)

• フッ化炭素を含む重合体複合材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-241572   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション