特許
J-GLOBAL ID：200903037125955424
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169327
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029791
出願日： 1993年07月08日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 補正ガラスの洗浄作業を容易にでき、洗浄後における再構成時にごみを撒き散らしたりすることがなく、自動搬送も可能な露光装置を提供する。【構成】 調圧空間Aと、この調圧空間A内を負圧に調節する調圧器24とをむすぶ通気路28を支持部材26に設け、補正ガラス27には設けない。補正ガラス27をマスク13と同じ大きさにでき、洗浄が容易になるとともに自動搬送をも可能とする。支持部材26として、補正ガラス27を載置させる第1の部分26a より厚さ大なる外側となる第2の部分26b を有するものを用いる。通気路28を、内径小なる複数本の通気部と、内径小なる複数本の通気部をそれぞれ連通する内径大なる通気部とにわけて構成できる。排気のコンダクタンスの低下を防ぎ、かつ、調圧器24への連結用の固定チューブ23の構成を簡素化して干渉を防止できる。
請求項（抜粋）：
板状のマスクの外周縁部を、露光用開口を有するマスクステージの内周縁部上に載置し、前記マスクを介して露光対象に露光する露光装置において、前記マスク上に載置され、所定厚さを有し、かつ、露光面積より大なる開口面積を有する平面形状が枠状をなす支持部材と、この支持部材上に外周縁部が載置され、前記マスクとともに、前記支持部材の内側に調圧空間を形成する補正ガラスと、前記支持部材内に設けられ、一端が前記調圧空間に開口し他端がこの調圧空間内を負圧に調節する調圧器との連結端となる通気路とを備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G01B 11/14
, G03F 7/20 521
