特許
J-GLOBAL ID:200903037132670125
TABテープの製造方法およびTABテープ用積層体
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 辰雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-055403
公開番号(公開出願番号):特開平9-186202
出願日: 1996年02月20日
公開日(公表日): 1997年07月15日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 既存の1条取り用の設備をそのまま使用し、広幅TABテープを長手方向にスリットして、所望幅のTABテープを複数得る。【解決手段】 所望幅のTABテープが複数得られる幅を有するベースフィルムの、少なくとも片面の両エッジ部分を除く全面に、保護フィルム付き接着剤層を積層して、ベースフィルムにスプロケットホールとデバイスホールを穿孔する。次に保護フィルムを剥離し、この上に銅箔を貼着する。銅箔上にフォトレジストを塗布し、露光、現像し、次いでエッチングして配線パターンを形成して、所望幅のTABテープが複数得られる。
請求項(抜粋):
下記工程(1)〜(5):(1)所望幅のTABテープが複数得られる幅を有するベースフィルムの、少なくとも片面の両エッジ部分を除く全面に、保護フィルム付き接着剤層を積層する工程、(2)得られた接着剤層および保護フィルム付きベースフィルムにスプロケットホールおよびデバイスホールを穿孔する工程、(3)該保護フィルムを剥離し、該接着剤層上に銅箔を貼着する工程、(4)該銅箔上にフォトレジストを塗布し、露光、現像し、次いで該銅箔をエッチングして配線パターンを形成することにより、所望幅のTABテープが複数並列に形成された広幅TABテープを得る工程、(5)該広幅TABテープを長手方向にスリットして、所望幅のTABテープを複数得る工程、からなることを特徴とするTABテープの製造方法。
IPC (2件):
H01L 21/60 311
, H05K 3/28
FI (2件):
H01L 21/60 311 W
, H05K 3/28 B
前のページに戻る