特許
J-GLOBAL ID:200903037135036478

外観検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松崎 清
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-196862
公開番号(公開出願番号):特開平6-043113
出願日: 1992年07月23日
公開日(公表日): 1994年02月18日
要約:
【要約】【目的】 微小な欠けや汚れを高速かつ高精度に検査し得るようにする。【構成】 検査対象物画像21に対して複数のウインドウWX1,WX2,WY1,WY2を設定し、その各ウインドウ内で対象物画像21を水平または垂直方向に走査して走査ライン毎の変化点データの差(変化率)を求め、この変化率を所定の設定値と比較することにより対象物画像21の微小な欠けや汚れ等の欠陥を、高速かつ高精度に検査可能とする。1つのウインドウを複数のゾーン、例えばX1〜X3のように分割し、各ゾーン毎に設定値を変えることができる。
請求項(抜粋):
検査対象物を撮像してその2値化画像の輪郭部と対応する所定位置に複数の検査領域(ウインドウ)を設定し、このウインドウ内にある画像について予め定められた方向からそれぞれスキャンし、その輪郭部の各変化点の座標を順次抽出して画像メモリに格納し、この格納された各座標を所定ライン間隔で検索し、前回の検索ラインと今回の検索ラインの各変化点の差(変化率)を求め、これを予め設定された上下限設定値とそれぞれ比較することにより、検査対象物の輪郭部の欠けまたは汚れを検出することを特徴とする外観検査方法。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30

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