特許

J-GLOBAL ID：200903037137270672

フォトレジスト剥離剤組成物

発明者： 佐藤 嘉高 ,  西嶋 佳孝 ,  塩津 信一郎
出願人/特許権者： ナガセ電子化学株式会社
代理人 (1件)： 塩出 真一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-338929
公開番号（公開出願番号）：特開平7-160009
出願日： 1993年12月01日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 アルキルアミン、又はアルキルアミンと極性有機溶剤との混合物を主成分とするフォトレジスト剥離剤に、一般式(1)で表わされるアルキン化合物及び一般式((II))で表わされるアルキン化合物の少なくとも1種1〜80重量%と、水3〜40重量%を添加してなるフォトレジスト剥離剤組成物。(式中、R1、R2、R3、R4はH、ハロゲン、ハイドロキシ基、アミノ基、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数1〜5のアルコキシ基、炭素数1〜5のハイドロキシアルキル基、又は炭素数1〜5のアミノアルキル基を示す。)(式中、R5、R6、R7、R8、R9はH、ハロゲン、ハイドロキシ基、アミノ基、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数1〜5のアルコキシ基、炭素数1〜5のハイドロキシアルキル基、又は炭素数1〜5のアミノアルキル基を示す。)【効果】 引火せず、かつ、下地金属の浸食が少なく、しかも、フォトレジストに対する剥離力の大きいフォトレジスト剥離剤組成物を提供することができる。

請求項（抜粋）：

アルキルアミン、又はアルキルアミンと極性有機溶剤との混合物を主成分とするフォトレジスト剥離剤、一般式化1で表わされるアルキン化合物(I)及び一般式化2で表わされるアルキン化合物(II)の少なくとも1種並びに水を主成分とすることを特徴とするフォトレジスト剥離剤組成物。【化1】【化2】

IPC (2件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/027