特許
J-GLOBAL ID：200903037146153069
3層構造の赤外線ボロメータ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176954
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019010
出願日： 1998年06月24日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 各層がより向上されたフィルファクタを有する、3層構造の赤外線ボロメータを提供する。【解決手段】 本発明の3層構造の赤外線吸収ボロメータは、基板212 、この基板212上に形成される少なくとも一対の接続端子214 、及び基板212 を取囲む保護層216 を有する駆動マトリックス層210 と、各対が導電線265 を有する少なくとも一対の支持ブリッジ240 を有し、各導電線265 の一端が該当接続端子214 に電気的に接続されている支持層220 と、吸収剤295 によって取囲まれる蛇紋形状のボロメータ要素285 を有する吸収層230 と、支持層220 と吸収層230 との間に位置し、絶縁物質によって取囲まれる電気導管272 を有する少なくとも一対のポスト270 とを含む。
請求項（抜粋）：
3層構造の赤外線吸収ボロメータであって、基板、前記基板の上に形成される少なくとも一対の接続端子を有する駆動マトリックス層と、各対が導電線を有する少なくとも一対のブリッジを有し、前記各導電線の一端が該当接続端子に電気的に接続される支持層と、吸収剤によって取囲まれるボロメータ要素を有する吸収層と、前記支持層と前記吸収層との間に位置し、絶縁物質によって取囲まれる電気導管を有する少なくとも一対のポストとを含み、前記吸収層における前記ボロメータ要素の各端部が前記各電気導管及び前記各導電線を通じて前記接続端子に電気的に接続されていることを特徴とする3層構造の赤外線ボロメータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2G065AB02
, 2G065BA12
, 2G065BB50
, 2G065BE08
, 2G066BA09
, 2G066BA55
, 2G066BA60
