特許

J-GLOBAL ID：200903037148509596

自動ウェーハラッピング装置

発明者： ジョージ・ダブリュー・グリーン ,  ピーター・ディ・アルブレヒト ,  ケネス・ディ・ストリットマター ,  ラファエル・イー・ヒダルゴ
出願人/特許権者： エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-141896
公開番号（公開出願番号）：特開平10-098089
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 各ウェーハ群のラッピングの間の遅延を最小にする自動ウェーハラッピング装置を提供する。【解決手段】 自動ウェーハラッピング装置はロボットを有する。ロボットは次々と一度に一つづつ、ラッピングマシンのウェーハキャリアにカセットからウェーハを載せる。ロボットはラッピングされたウェーハを厚み測定装置に搬送できる。厚み測定装置は、ウェーハの厚みを測定し、各サイクル中にラッピング装置を再較正する。ウェーハを受けるためのウェーハキャリアの開口部は、ウェーハとキャリアとの間の相対移動を最小限にするためのほぼ等しい大きさとしてある。センタリングジグとロボットのサーチプログラムにより、開口部にウェーハを素早く配置できる。ラッピング装置はまたウェーハの欠陥を検査し、それにしたがってラッピング後に仕分ける。

請求項（抜粋）：

自動ウェーハラッピング装置は、ラッピングされる複数のウェーハを保持するウェーハ保持ステーションと、ウェーハラッピングマシンとを備え、上記ウェーハラッピングマシンは上部と下部のラッピングプレートと下部ラッピングプレートに設けた複数のウェーハキャリアとを有し、上記ウェーハキャリアはそれぞれウェーハを収容すると共に上部と下部のラッピングプレートの間の所定の場所でウェーハを保持して該ウェーハをウェーハキャリアと共に移動させる複数の開口部を有し、上記ウェーハラッピングマシンはウェーハキャリアと上下のプレートとの間で相対移動して所定のウェーハ厚を得るためにウェーハから材料を除去するように構成されており、上記上部ラッピングプレートは、ウェーハキャリアにウェーハを載せたり降ろしたりするために、下部ラッピングプレート上の位置と下部ラッピングプレートから離れた位置との間を移動可能であり、上記自動ウェーハラッピング装置はまた、上記ウェーハ保持ステーションとウェーハラッピングマシンの近傍に配置されたウェーハ搬送機構を備えており、上記ウェーハ搬送機構は、ウェーハ保持ステーションのウェーハを該ウェーハ保持ステーションから次々と一度に一つづつ持ち上げ、上記ウェーハを次々と一度に一つづつ保持ステーションからウェーハラッピングマシンに搬送し、該ウェーハを次々と一度に一つづつ下部ラッピングプレートにあるウェーハキャリアの開口部にそれぞれ一つづつ入れて、ラッピングのためにウェーハをウェーハキャリアに載せ、ラッピング後に次々と一度に一つづつラッピングマシンからウェーハと取り出すように構成されている。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/304 321 E