特許
J-GLOBAL ID：200903037154181250
検査用ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-265051
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090306
出願日： 1996年09月17日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 大きな針圧を得ることにある。【解決手段】 検査用ヘッドは、基板と、該基板に取り付けられた針押えと、該針押えの突出部に間隔をおいて取り付けられた複数のプローブと、該プローブにばね力を付与すべく少なくとも先端部をプローブに当接させた状態に針押えに支持された長尺の複数の補助部材とを含む。これにより、プローブが弓状に反るときの針圧が大きくなる。
請求項（抜粋）：
平板状の被検査体の電気的特性試験に用いる検査用ヘッドであって、基板と、該基板に取り付けられた針押えと、該針押えの突出部に間隔をおいて取り付けられた複数のプローブと、該プローブにばね力を付与すべく少なくとも先端部を前記プローブに当接させた状態に前記針押えに支持された長尺の複数の補助部材とを含む、検査用ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
