特許
J-GLOBAL ID：200903037155606360
処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244823
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083833
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 キャリア載置部上のキャリアから搬送機構により被処理基板例えばガラス基板を取り出して処理ユニットに受け渡す処理装置において、例えばメンテナンス時にキャリアを手作業で置く場合に、キャリアなどがマッピング用の光学的検出手段に触れないようにすること、及びキャリアの載置を自動化する場合に搬送機構により被処理基板の受け渡しを確実に行うこと。【構成】 搬送機構の搬送部本体32に発受光部53を設ける一方、搬送部本体32にキャリアCの側面部外方に沿って進退自在なアーム51を設け、このアーム51の先端にミラー52を設けて、発受光部53よりの光をミラー52で反射するようにしてマッピングセンサーを構成する。またキャリア載置部に、エアシリンダにより連動する一対の位置合わせ部材を設けて、キャリアの底面の対向する二隅をX、Y軸に対し45度の方向に接近させてキャリアの位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
複数の板状の被処理体を棚状に収納し、前面部が被処理体の受け渡し口として形成されると共に、側面部は光が透過できるように構成されたキャリアを載置するためのキャリア載置部と、前記キャリア内の被処理体を順次取り出して処理ユニットに受け渡すために、少なくとも進退自在、及び前記キャリア載置部に対して相対的に昇降自在に構成された被処理体保持部材を備えた搬送機構と、この搬送機構に、前記被処理体を面方向に挟んで対向するように設けられ、前記キャリア載置部上のキャリア内の各段における被処理体の有無を検出するための一対の光学的検出手段と、を備えたことを特徴とする処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/027
