特許
J-GLOBAL ID：200903037157651591
インクジェットヘッド及びインクジェットヘッド製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-285907
公開番号（公開出願番号）：特開2003-094665
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットノズルの吐出側表面の撥水剤層とノズル形成部材との密着性とノズル孔の加工性とを同時に向上可能とするインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】 インク滴を吐出する複数のノズル孔44を有するノズル形成部材121と各ノズル孔が連通する複数のインク液室とノズル形成部材121の表面にフッ素系撥水剤層123を設けたノズル板43とを有し、前記インク液室の容積を変化させてノズル孔44からインク滴が吐出するインクジェットヘッドにおいて、ノズル板43として、ノズル形成部材121とフッ素系撥水剤層123との間に、無機酸化物の皮膜が分断形成された島状の膜を形成しつつ、全体としては均一に前記島状の膜が成膜される島状薄層の無機酸化物層122を形成する。無機酸化物層122の材料はSiO2またはTiO2からなり、層厚さが10Å〜1000Åの範囲に、より好適には50Å〜300Åの限定された範囲にある。
請求項（抜粋）：
インク滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズル形成部材と、前記各ノズル孔が連通する複数のインク液室とを有し、かつ、前記ノズル形成部材の表面にフッ素系撥水剤によるフッ素系撥水剤層を設けたノズル板を有しているインクジェットヘッドであって、各前記ノズル孔に対応するエネルギー発生手段を駆動して前記インク液室の容積を変化させることにより、前記ノズル孔からインク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記ノズル板として、前記ノズル形成部材と前記フッ素系撥水剤層との間に、無機酸化物の皮膜が分断形成された島状の膜を形成しつつ、全体としては、均一に前記島状の膜が成膜されている島状薄層の形状からなる無機酸化物層を形成していることを特徴とするインクジェットヘッド。
Fターム (15件)：
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG54
, 2C057AG55
, 2C057AN01
, 2C057AP13
, 2C057AP23
, 2C057AP26
, 2C057AP28
, 2C057AP34
, 2C057AP54
, 2C057AP60
, 2C057AQ01
, 2C057AQ02
, 2C057AQ03
