特許
J-GLOBAL ID：200903037158410997
波長変化検出機能付き干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-228652
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039713
出願日： 2000年07月28日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】モードホップを起こして光源に波長変化が生じたときこれを自動的に検出することのできる波長変化検出機能付き干渉計を実現する。【解決手段】光源からのレーザ光を分岐して固定ミラーと可動ミラーに送り、各ミラーからの戻り光を合成して干渉光を得て、この干渉光に基づいて可動ミラーの移動距離を検出する干渉計において、前記光源の発振波長の変化を検知する波長変化検出手段を設ける。
請求項（抜粋）：
光源からのレーザ光を分岐して固定ミラーと可動ミラーに送り、各ミラーからの戻り光を合成して干渉光を得て、この干渉光に基づいて可動ミラーの移動距離を検出する干渉計において、前記光源の発振波長の変化を検知する波長変化検出手段を備えたことを特徴とする波長変化検出機能付き干渉計。
Fターム (12件)：
2F064AA01
, 2F064BB05
, 2F064CC00
, 2F064EE01
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG41
, 2F064HH01
, 2F064HH06
, 2F064JJ11
, 2F064KK01
