特許

J-GLOBAL ID：200903037159738872

記録ヘッドおよび製造方法

発明者： 山口 清 ,  田中 誠
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-078855
公開番号（公開出願番号）：特開2001-260354
出願日： 2000年03月21日
公開日（公表日）： 2001年09月25日
要約：

【要約】【課題】 振動板と電極との間のギャップ内の非平行部分の形状を安定的に供給するための、構造並びその製造方法を提供する。【解決手段】 100はp型シリコン基板で、該基板100上にギャップ102がLOCOS101によって形成されている。ギャップ102の両端は、LOCOSのバーズビークによって傾斜111が設けられている。LOCOSの下層には個別電極としてnウェル103が形成されており、nウェルの表面の一部分には抵抗を低減するため、n+層104が形成されている。nウェル層103間には電気的な分離のためのpウェル層が形成されている。LOCOS101の上層にはn型のシリコンからなる振動板106が形成され、その上層には圧力発生室110が、n型シリコンからなる隔壁層108によって形成されている。隔壁層108と振動板106の間には隔壁層のエッチング際のエッチングストップ層となるシリコン酸化膜層107が形成されている。

請求項（抜粋）：

記録体を吐出する吐出口を有する記録体流路と、該記録体流路の一部を構成し、かつ、振動板として作用する第1の電極と、該第1の電極に対して所定のギャップを介して対向配設された第2の電極とを有し、前記第1の電極と第2の電極との間に電圧を印加して、前記振動板を変位させ、前記記録体に移動エネルギーを与えて該記録体を前記吐出口より吐出させて記録媒体に付着させる記録ヘッドであって、前記第1の電極と前記第2の電極との間のギャップを非平行に設けた記録ヘッドにおいて、前記第2の電極は主平面を有するシリコン基板の主平面に形成されており、前記ギャップの非平行部分がLOCOSのバーズビークによって形成されていることを特徴とする記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (11件)：

2C057AF55 ,  2C057AF93 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP26 ,  2C057AP31 ,  2C057AP34 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15