特許
J-GLOBAL ID：200903037163631667
X線ミラー
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-296440
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152499
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【構成】セラミックス製基体1の表面に平滑膜2と反射膜3を備えてなるX線ミラーにおいて、上記平滑膜2をダイヤモンドで形成するとともに、その膜厚を5〜10μmとし、かつ成膜時の二次結晶の平均粒子径を10μm以下とする。【効果】平滑膜2の熱伝導率が高いため放熱性に優れ、また表面を極めて滑らかな面に研磨できることから高精度のX線ミラーを提供できる。
請求項（抜粋）：
セラミックス製基体の表面に平滑膜と反射膜を備えてなるX線ミラーにおいて、上記平滑膜を、膜厚5〜10μmで、かつ二次結晶の平均粒子径が10μm以下のダイヤモンド膜で形成したことを特徴とするX線ミラー。
IPC (2件)：
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