特許

J-GLOBAL ID：200903037168438687

電子放出素子およびその製造方法、ならびにこれを用いたディスプレイ装置

発明者： 中田 諭 ,  根岸 英輔
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-229819
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067736
出願日： 1998年08月14日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 駆動電圧が小さい、電界放出型の電子放出素子およびその製造方法、ならびにこれを用いたディスプレイ装置を提供する。【解決手段】 電子放出部分となる開口17底部に、カーボン膜18を形成する。このカーボン膜18の表面は微細突起を有し、カソード電極ライン13表面より基板11側に位置する。

請求項（抜粋）：

基板上に、カソード電極ラインと、絶縁層と、該カソード電極ラインと交叉するゲート電極ラインとを、この順に有するとともに、前記カソード電極ラインと前記ゲート電極ラインの交叉領域において、該ゲート電極ライン、前記絶縁層および該カソード電極ラインの厚さ方向の一部には、該カソード電極ラインに臨む開口を有する電子放出素子であって、前記開口の底面は前記ゲート電極ライン表面と平行な平面をなし、前記開口の底面にはカーボン膜を有し、前記カーボン膜表面は、複数の微細突起を有するとともに、前記カーボン膜表面は、前記カソード電極ライン表面より前記基板側に位置することを特徴とする電子放出素子。

IPC (4件)：

H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 1/30 F ,  H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C

Fターム (13件)：

5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C031DD19 ,  5C036EE01 ,  5C036EE03 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EG15 ,  5C036EH08 ,  5C036EH11