特許

J-GLOBAL ID：200903037172923794

高分子水溶液、感光性組成物及びパターン形成方法

発明者： 小高 芳之 ,  西澤 昌紘 ,  石垣 利昌 ,  林 伸明 ,  伊藤 雅人 ,  森下 ▲はじめ▼
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-324747
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157481
出願日： 1995年12月13日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【目的】 アクリルアミド-ジアセトンアクリルアミド共重合体水溶液を長期間にわたって室温状態で保存させることを可能にした高分子水溶液、及び、前記共重合体水溶液を含む特性の良好な感光性組成物やこの感光性組成物を用いた良好な形状のパターン形成方法を提供する。【構成】 アクリルアミドとジアセトンアクリルアミドとからなる共重合体水溶液に、チオ尿素、チオ尿素誘導体の中の少なくとも1種類を付加した高分子水溶液を生成する。また、この高分子水溶液に水溶性アジド化合物を加えたレジスト溶液からなる感光性組成物を形成し、この感光性組成物を用いてカラー陰極線管のフェイスプレート内面に所定形状のパターンを形成した。この高分子水溶液は、既知の高分子水溶液に比べて、長期間保存した後でも、水素イオン指数(pH)や粘度の変化が極端に少なく、この高分子水溶液を用いた感光性組成物の劣化も殆んど生じない。

請求項（抜粋）：

アクリルアミドとジアセトンアクリルアミドとからなる共重合体水溶液にチオ尿素、チオ尿素誘導体の中の少なくとも1種類を加えたことを特徴とする高分子水溶液。

IPC (4件)：

C08L 33/26 LJV ,  C08K 5/405 ,  G03F 7/008 ,  H01J 9/227

FI (4件)：

C08L 33/26 LJV ,  C08K 5/405 ,  G03F 7/008 ,  H01J 9/227 C