特許
J-GLOBAL ID：200903037176281630
被検査体の装着位置及びプローブコンタクト位置への移動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347519
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201783
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】位置調整ステージを薄型化して、被検査体の装着位置と、またプローブ接触位置、監視位置、調整位置とを異なる位置にすることで、被検査体の装着作業を容易にし、かつ作業者及び周辺機器の安全性を得る。またコンタクトの精度を向上させる。【構成】ベース100にパレット200が可動自在に配置され、パレット200はプランジャー101、102及びボールベアリング104でX軸方向の位置規制を得る。Y軸方向の位置調整及びθ調整はパレット200エッジを押し付ける調整ねじ106、108と、他方エッジを駆動する調整ねじ106、108及び調整モータ601、602で実現される。ベース100はシャフト801と調整モータ802でX軸方向に移動されX軸方向調整も行われる。被検査体300の交換位置とビデオ監視及びプローブ接触位置は、X軸方向に大きく異なる。
請求項（抜粋）：
被検査板体が所定位置に載置されるパレットと、前記パレットを上面で平面的に可動自在に受けるベースと、前記ベース上のパレットをそのエッジ方向から駆動して、Y軸方向、及び平面回転方向に位置調整する第1の調整手段と、前記ベースを前記Y軸と直交するX軸方向に移動自在に支持し、かつ位置調整が可能であり、前記被検査板体を前記パレットへ装着するための第1の位置、前記被検査板体に対してプローブをコンタクトさせる第2の位置へ搬送可能な第2の調整手段とを具備したことを特徴とする被検査体の装着位置及びプローブコンタクト位置への移動装置。
IPC (3件)：
G01R 31/28
, G02F 1/13 101
, H01L 21/68
