特許

J-GLOBAL ID：200903037179437887

絶縁膜

発明者： 正木 孝樹 ,  田中 明彦
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-190249
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021337
出願日： 1998年07月06日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】電子放出素子を有する画像形成装置における薄膜絶縁膜やプラズマディスプレイパネルの基板ガラスに対するパッシベーション膜として利用でき、表面平滑性が高く、その上部に設置または構成される部材の形成を精度よく行うことができる絶縁膜を提供する。【解決手段】基板上に形成された絶縁膜であって、厚みが0.5〜5μmで、かつ表面粗さRaが0.01〜0.5μmである絶縁膜とする。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された絶縁膜であって、厚みが0.5〜5μmで、かつ表面粗さRaが0.01〜0.5μmであることを特徴とする絶縁膜。

IPC (11件)：

H01J 29/88 ,  C03C 8/04 ,  C03C 8/10 ,  C03C 17/02 ,  G02F 1/1333 ,  G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 312 ,  H01B 3/00 ,  H01B 3/08 ,  H01J 11/02 ,  H01J 17/04

FI (11件)：

H01J 29/88 ,  C03C 8/04 ,  C03C 8/10 ,  C03C 17/02 B ,  G02F 1/1333 ,  G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 312 Z ,  H01B 3/00 F ,  H01B 3/08 A ,  H01J 11/02 B ,  H01J 17/04

Fターム (93件)：

2H089HA36 ,  2H089HA40 ,  2H089NA60 ,  2H089QA09 ,  2H089QA12 ,  2H089RA18 ,  2H089TA05 ,  2H089TA07 ,  4G059AA01 ,  4G059AC20 ,  4G059CA03 ,  4G059CB01 ,  4G059CB02 ,  4G062AA03 ,  4G062BB01 ,  4G062DA03 ,  4G062DA04 ,  4G062DB01 ,  4G062DB02 ,  4G062DB03 ,  4G062DC03 ,  4G062DC04 ,  4G062DD01 ,  4G062DE04 ,  4G062DE05 ,  4G062DF01 ,  4G062DF06 ,  4G062DF07 ,  4G062EA10 ,  4G062FA01 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FC03 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA04 ,  4G062GA05 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK10 ,  4G062MM23 ,  4G062MM25 ,  4G062NN40 ,  5C032AA01 ,  5C032AA07 ,  5C032DD10 ,  5C032DE03 ,  5C032DF03 ,  5C032DG10 ,  5C040DD03 ,  5C040DD07 ,  5C094AA02 ,  5C094AA25 ,  5C094AA43 ,  5C094AA55 ,  5C094BA04 ,  5C094BA31 ,  5C094BA33 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA15 ,  5C094EB02 ,  5C094ED01 ,  5C094FA02 ,  5C094FA04 ,  5C094FB02 ,  5C094FB15 ,  5C094GB00 ,  5C094JA01 ,  5C094JA08 ,  5C094JA11 ,  5G303AA07 ,  5G303AB20 ,  5G303BA03 ,  5G303CA02 ,  5G303CB01 ,  5G303CB02 ,  5G303CB05 ,  5G303CB25 ,  5G303CB30 ,  5G303CB38 ,  5G303CB39

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 積層膜の製造方法及び積層膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-179838   出願人：大日本印刷株式会社
• プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-250345   出願人：富士通株式会社
• プラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-044969   出願人：大日本印刷株式会社
• 感光性ペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-321794   出願人：東レ株式会社
• プラズマディスプレイパネル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-298454   出願人：東レ株式会社