特許

J-GLOBAL ID：200903037182834510

感光性樹脂組成物

発明者： 前田 ▲祐▼利 ,  国宗 弘一 ,  渡邊 英司
出願人/特許権者： チッソ株式会社
代理人 (1件)： 藤本 博光 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-134357
公開番号（公開出願番号）：特開平6-348016
出願日： 1993年06月04日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【構成】 一般式(I)【化1】で示される構造単位を含むポリアミド酸100重量部に対し、一般式(II)【化2】で示されるエポキシ基を有するシリコン化合物0.5〜30重量部及び光照射により酸を発生する化合物0.5〜40重量部を含有する感光性樹脂組成物。【効果】 製造が容易で、ポジ型のパターン形成ができ、基板との密着性に優れる感光性樹脂組成物が提供された。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)【化1】で示される構造単位を含むポリアミド酸を100重量部、下記一般式(II)【化2】で示されるエポキシ基を有するシリコン化合物0.5〜30重量部、及び光照射により酸を発生する化合物0.5〜40重量部を含有することからなる感光性樹脂組成物、{ただし、式(I)においてR1は4価の有機基、R2は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基または2価のポリシロキサン基を表す、また式(II)においてZは【化3】【化4】または【化5】であり、R3は【化6】【化7】もしくは【化8】(ただし、sは0〜4の整数、tは1〜4の整数を表す)であり、R4は独立に炭素数1〜6のアルキル基、R5は独立に炭素数1〜6の飽和または不飽和の炭化水素基を表し、1≦k≦3である。}。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  C08K 5/54 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-015847
  
• 特開昭54-145794