特許
J-GLOBAL ID:200903037186831426
超電導素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-098363
公開番号(公開出願番号):特開平7-307498
出願日: 1994年05月12日
公開日(公表日): 1995年11月21日
要約:
【要約】【目的】 高温動作できる酸化物系の超電導材料を用いてかつ、加工可能な寸法を有し、さらには実用的に動作させることが可能な電流容量を有する酸化物系のマイクロブリッジ形素子の構造を与えることにある。【構成】 基板上にマイクロブリッジ構造をなす少なくとも1対の超電導電極を有し、上記超電導電極は、超電導膜と動作温度において常伝導膜とのそれぞれ2膜以上からなる積層膜によって構成される。【効果】 本素子構造を採用することにより、電子線描画法等のパターン形成加工技術を用いることによって形成可能な素子寸法となり、かつ素子動作が可能となる。
請求項(抜粋):
基板上にマイクロブリッジ構造をなす少なくとも1対の超電導電極を有し、上記超電導電極は、超電導膜と動作温度において常伝導状態である常伝導膜とのそれぞれ2膜以上からなる積層膜によって構成されることを特徴とする超電導素子。
引用特許:
審査官引用 (4件)
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ジョセフソン素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-170508
出願人:松下電器産業株式会社
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特開昭64-028875
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特開平1-161785
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酸化物超伝導装置の作製方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-176023
出願人:株式会社半導体エネルギー研究所
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