特許

J-GLOBAL ID：200903037193030722

ワイヤーボンディングキャピラリー

発明者： ケネス ウェイン エレット ,  鈴木 眞佐夫
出願人/特許権者： 株式会社完エレクトロニクス ,  スモール プレシジョン ツールズ
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-320664
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162223
出願日： 1995年12月08日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 ワイヤーボンダーに取り付けて、ワイヤーを超音波振動により接着面に溶着するために、先端の機械的な強度が高く、超音波振動を効率的に伝達できる高密度セラミックスのワイヤーボンディングキャピラリーを提供する。【解決手段】 溶着部と収束部と胴体部との全体をモールド成型により一体に焼結し、溶着部の外形のテーパを第1の角度に形成し、収束部の外形のテーパを第1の角度より広い第2の角度で形成して、貫通孔のテーパを第2の角度より広いか、又は第2の角度と等しい第3の角度で形成する。また、第1の角度は30°であって第2及び第3の角度はそれぞれ10°であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ワイヤーボンダーに取り付けて超音波振動を伝達するための胴体部と、先細の縦断面テーパ状に形成され、伝達された超音波振動を先端方向に収束するとともに熱を逆方向に拡散する収束部と、先細の縦断面テーパ状に形成され、収束部側から先端に向けて貫通孔を有し、この貫通孔を通したワイヤーを集束された超音波振動により接着面に溶着するための溶着部からなる高密度セラミックスのワイヤーボンディングキャピラリーにおいて、溶着部と収束部と胴体部との全体をモールド成型により一体に焼結し、溶着部外形のテーパを第1の角度に形成し、収束部外形のテーパを第1の角度より広い第2の角度に形成して、貫通孔のテーパを第1の角度より狭いか、又は第1の角度と等しい第3の角度に形成することを特徴とする高密度セラミックスのワイヤーボンディングキャピラリー。

IPC (2件)：

H01L 21/60 301 ,  H01L 21/607

FI (2件)：

H01L 21/60 301 G ,  H01L 21/607 C